| بلورهای نیم رسانا که برای ساخت قطعات الکترونیکی و مدارهای مجتمع استفاده میشوند، باید به صورت دقیق رشد داده شده و ناخالصیهای آنها جدا گردد. در زیر به سه روش رشد این بلورها اشاره میکنیم. |
تاریخچه
رشد سیلیسیم تکبلور ، اولین بار در آغاز و میانه دهه 1950 انجام گرفت که هماکنون نیز در ساخت مدارهای مجتمع از آن استفاده میشود.
دیدکلی
پیشرفت تکنولوژی قطعات حالت جامد نهتنها به توسعه مفاهیم قطعات الکترونیکی بلکه به بهبود مواد نیز وابسته بوده است. شرایط رشد بلورهای نیمرسانا که برای ساخت قطعات الکترونیک استفاده میشود، بسیار دقیقتر و مشکلتر از سایر مواد است. علاوه بر این که نیمرساناها باید بهصورت تک بلورهای بزرگ در دسترس باشند، باید خلوص آنها نیز در محدوده بسیار ظریفی کنترل شود. مثلا تراکم بیشتر ناخالصیهای مورد استفاده در بلورهای
سیلیسیم فعلی از یک قسمت در ده میلیارد کمتر است. چنین درجاتی از خلوص ، مستلزم دقت بسیار در استفاده و بکارگیری مواد در هر مرحله از فرآیند ساخت است.
رشد از مذاب
یک روش متداول برای رشد تک بلورها ، سرد کردن انتخابی ماده مذاب است، به گونهای که
انجماد در راستای یک جهت بلوری خاص انجام میپذیرد.
یک مثال
ظرفی از جنس سیلیکا (کوارتز شیشهای) در نظر بگیرید که دارای
ژرمانیم (Ge) مذاب است و میتوان آن را طوری از کوره بیرون آورد که انجماد از یک انتها شروع شده ، بهتدریج تا انتهای دیگر پیش رود. با قرار دادن یک دانه بلوری کوچک در نقطه شروع انجماد ، میتوان کیفیت رشد بلور را بالا برد. شکل بلور بدست آمده توسط ظرف ذوب تعیین میشود. ژرمانیوم ، گالیم آرسنیک (GaAs) و دیگر بلورهای نیمرسانا اغلب با این روش که معمولا
روش بریجمن افقی (Bridgman) نامیده میشود، رشد داده میشوند.
معایب رشد بلور در ظرف ذوب
در این روش ، ماده مذاب با دیوارهای ظرف تماس پیدا میکند و در نتیجه در هنگام انجماد تنشهایی ایجاد میشود که
بلور را از حالت ساختار شبکهای کامل خارج میسازد. این نکته بویژه در مورد Si که دارای نقطه ذوب بالایی بوده و تمایل به چسبیدن به مواد مذاب را دارد، مشکل جدی است.
روش جایگزین
یک روش جایگزین ، کشیدن بلور از مذاب در هنگام رشد آن است. در این روش یک دانه بلوری در داخل ماده مذاب قرار داده شده و بهآهستگی بالا کشیده میشود و به بلور امکان رشد بر روی دانه را میدهد. معمولا در هنگام رشد ، بلور بهآهستگی چرخانده میشود تا علاوه بر هم زدن ملایم مذاب از هر گونه تغییرات دما که منجر به انجماد غیر همگن میشود، متوسط گیری کند. این روش ،
روش چوکرالسکی (Czochoralski) نامیده میشود.
پالایش ناحیهای و رشد ناحیه شناور
استفاده از ناحیه مذاب متحرک بهخصوص وقتی که رفت و برگشتهای متعددی در راستای شمش انجام میپذیرد، موجب خلوص قابل توجهی در ماده اولیه میشود. این فرایند ،
پالایش ناحیهای نامیده میشود. تکنیکهای متداول برای ذوب شمش عبارتند از :
تابش گرما از یک گرماده مقاومتی ،
گرمایش القایی و
گرمایش بوسیله بمباران الکترونی در فصل مشترک مایع و جامد که در حال انجماد است. توزیع خاصی از ناخالصیها بین دو فاز وجود خواهد داشت؛ کمیت مهمی که این ویژگی را مشخص میکند،
ضریب توزیع Distribution Coefficient است که بهصورت نسبت تراکم ناخالصی در جامد به تراکم آن در مایع در حالت تعادل تعریف میشود.
ضریب توزیع تابعی از ماده ، ناخالصی دمای مرز مشترک بین جامد و مایع و سرعت رشد است. اگر مرورهای متعددی صورت گیرد، طول بیشتری از شمش خالص شده و پس از مرورهای متعدد اکثر ناخالصیها به انتهای شمش کشیده میشود که میتوان آن را برید و جدا کرد و در نتیجه یک بلور با خلوص خیلی زیاد باقی میماند. ضریب توزیع که روند پالایش ناحیهای را کنترل میکند، در هر گونه رشد از مذاب نیز اهمیت دارد.
مباحث مرتبط با عنوان
